当社は、チャック、ヒーター、窓、ベルジャー、エンドエフェクター、真空ポンプなどの高額製品に対して、経験豊富なメンテナンスとオーバーホールのソリューションを提供しています。{0}{1}
カテゴリー
ドライポンプ、コーリーポンプ、スクラバーなど
プロセス
CVD/TEOS、PVD、DIFF、EPI、ETCH、IMP、RTPなど
メンテナンス用途例












当社は、チャック、ヒーター、窓、ベルジャー、エンドエフェクター、真空ポンプなどの高額製品に対して、経験豊富なメンテナンスとオーバーホールのソリューションを提供しています。{0}{1}
カテゴリー
ドライポンプ、コーリーポンプ、スクラバーなど
プロセス
CVD/TEOS、PVD、DIFF、EPI、ETCH、IMP、RTPなど











