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セラミックドーム
-高純度で緻密な材料で、優れた耐プラズマ性と持続的な安定性を備えています。. . ドームセラミック製品は、高硬度、優れた耐摩耗性、良好な耐食性、電気的性能制御、および長い耐用年数を特徴としており、半導体業界で広く使用されています。これらは通常、高温で腐食性の特殊ガス プロセス チャンバーで使用され、その耐久性により装置のメンテナンス間隔が大幅に延長されます。-. . 構成:
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セラミックエアベアリングステージ
-高純度のアルミナ セラミックは耐熱性と耐摩耗性を備え、正確な動きを実現する高い平面性を備えています。. . 高純度のアルミナ セラミックから作られたセラミック エア ベアリング
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セラミックリング
-優れた耐プラズマ性と低変形性を備えた高純度セラミックスにより、安定したエッチング プロセスが実現します。. . エッチングリング、フォーカスリング、エッジリングなど、セラミックリングの各種カスタマイズ加工を提供しています。それぞれがエッチング、フォトリソグラフィー、イオン注入などのチップ製造の複数のプロセスにおいて特定の役割を果たします。エッチング
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インシュレーターリング
高絶縁セラミック素材は高電圧と高温に耐えます。-. . セラミック絶縁リングは、半導体プロセス チャンバーの重要な絶縁部品として機能します。これらのリングは、高出力 RF
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ポンプリング
革新的な多孔質構造設計により、プロセス チャンバー内の正確なエアフロー管理が可能になります。. . 半導体装置の重要なコンポーネントであるセラミック ポンピング リングは、独自の環状多孔質構造を利用して、ウェーハ表面全体にプロセス
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シリコンリング
-要求の厳しい用途向けの強度と化学的安定性を備えた高純度シリコン。. . 単結晶シリコン リングは、完璧な結晶構造を持つ超高純度の材料から作られています。-熱膨張係数が低いため、高温環境でも寸法安定性を維持しながら、半導体プロセスとの良好な適合性を確保し、汚染を引き起こしません。ハイエンドのチップ製造や精密電子機器に最適です。-. . 組成: シリコン. 仕様: オンデマンドでカスタマイズ.
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クォーツリング
高純度の石英から作られており、優れた耐熱性、化学的安定性、光透過特性を備えています。{0}. . クォーツ リングは、高純度のクォーツから精密に加工されており、熱膨張が低く、耐熱衝撃性に優れています。{0}{1}独自の光学特性と化学的不活性により、良好な光透過性を維持しながら、高温および腐食性の環境でも安定した性能が保証されます。そのため、高温のビューポートや反応チャンバーに最適です。-. .
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メタルアーム
高い剛性と耐衝撃性を兼ね備え、重荷重の精密な伝達を実現します。{0}. . 金属アームは、アルミニウム合金やチタン合金などのさまざまな高性能金属で作られ、産業分野で信頼できるアシスタントとして機能します。{0}高い強度、靭性、良好な剛性を備え、正確で安定した動作を保証します。精密鍛造や CNC
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ハンドリングアーム
高精度と安定性により、効率的な非接触自動化を実現します。{0}}. . 当社は、高純度アルミナ セラミック、炭化ケイ素セラミック、その他の材料で作られたエンド
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セラミック窓
高温や腐食に強く、高度なプロセスに適しています。. . 窓製品は、優れた耐摩耗性、高硬度、長寿命、優れた耐食性と断熱性を備えています。これらはエレクトロニクス産業、特に高温で腐食性の特殊なガス処理チャンバーで広く使用されており、装置のメンテナンス サイクルが大幅に向上します。-. . 組成: アルミナ、ジルコニア、複合材料、コーティング材料. 仕様：8インチ、12インチ. アプリケーション:
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石英ディスク
優れた熱安定性と光学特性により、精密製造の厳しい要件を満たします。. . 石英ディスクと石英基板は、高純度の溶融石英素材から精密に加工されており、熱膨張係数が低く、耐熱衝撃性に優れています。{0}{1}独自の結晶構造により、良好な光透過率を維持しながら高温環境での寸法安定性が保証されるため、温度変化に敏感な高精度用途に適しています。-. . 組成: クォーツ. 仕様:
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サファイアウィンドウ
単結晶サファイア ビューポート、高透過率、高硬度、耐腐食性、耐摩耗性を備え、ハイエンド精密機器の過酷な条件に最適です。-. . サファイア ビューポートは、配向成長と超精密光学処理により高純度の単結晶アルミナ (Al₂O₃)
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金属真空チャック
耐摩耗性-合金、高-付着力-耐食性、精密-平坦、重-}で過酷な環境でも安定。. . 金属製の真空ウェーハ チャックは、半導体産業におけるウェーハの薄化処理や切断手順のための固定治具として広く利用されています。真空ウエハチャックの平面度精度は材質により異なります。高精度の機械加工により、金属真空ウェーハチャックは高い平坦度を実現できます。. . 構成:
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セラミックリフトピン
耐熱性、耐薬品性、電気絶縁性に優れています。図面・サンプルからカスタマイズ可能。. . 高純度精密セラミック ロッドとセラミック リフト ピンをプロフェッショナルにカスタマイズ。-アルミナ セラミック (緻密な構造、高い絶縁性)、炭化ケイ素 セラミック (高温耐性、高い耐摩耗性)、サファイア セラミック (優れた光透過性、高い表面平滑性)
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セラミックエアベアリングパッド
熱、摩擦、変形に強く、正確な空気浮力運動が可能です。{0}}. . お客様の要件に応じて加工された、高純度精密セラミック エア ベアリング
中国で最もプロフェッショナルな精密機械加工部品メーカーおよびサプライヤーの 1 つとして、当社はカスタム サービスおよび OEM サービスもサポートしています。当社の工場から高品質の精密機械加工部品を競争力のある価格でご購入ください。詳細については、当社の Web サイトをご覧ください。
