フォーカスリング

耐熱性と耐腐食性があり、誘電損失が低いため、プラズマを正確に集束できます。

セラミックフォーカスリングは、半導体エッチングチャンバーの重要なコンポーネントであり、正確な形状と安定した誘電特性を通じてウェーハ表面全体のプラズマ分布を均一に制御するように設計されています。当社のリングは高純度のアルミナまたはイットリアで作られており、優れた耐プラズマ性と熱安定性を備えています。{1}これらは、ウェーハの中心とエッジの間のエッチング速度の変動を効果的に低減し、高度な半導体製造におけるプロセスの均一性を保証します。

組成: アルミナ、酸化イットリウム、ジルコニア、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、炭化ケイ素
仕様: オンデマンドでカスタマイズ
用途：半導体・エレクトロニクス、FPD/LED、石油・化学、エネルギー・電力
カスタマイズされた処理: 図面とサンプルに基づいたカスタマイズとリバースエンジニアリング。

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製品説明

当社は、さまざまなエッチング環境向けに、アプリケーションに適合した高性能のフォーカスリングを提供しています。{0}{1}製造パートナーの材料科学とプロセスエンジニアリングの専門知識を活用して、優れた耐プラズマ性と熱安定性を保証します。すべてのコンポーネントは、極端な RF およびプラズマ条件に耐えるように精密に設計されており、高度な半導体プロセスに永続的な信頼性を提供します。{4}}

特徴

耐プラズマ腐食性
優れた熱安定性
優れた誘電特性
高い機械的強度

耐食性
低い熱膨張係数
高い平面度と精度

技術支援

お客様のご要望に基づいたカスタマイズ製品。
顧客と協力して製品設計を改善し、パフォーマンスを向上させ、コストを削減します。
製品アプリケーションの追跡およびフォローアップサービス。-

セラミックの専門知識

Tessvida はトータルキットソリューション (TKS) のスペシャリストであり、半導体とエレクトロニクス、医療機器、FPD/LED、機械、石油化学、自動車と輸送、エネルギーと電力、食品と農業などの主要産業にサービスを提供しています。成熟したサプライチェーンと高度なプロセス（静水圧プレス、ゲルキャスティング、乾式プレス）により、当社は材料の準備、成形、焼結から精密機械加工、後処理に至るまでのエンドツーエンドの機能を提供しています。--

高純度セラミックスに関する深い専門知識と強力なリソース統合に裏打ちされた当社の柔軟なカスタムサービスは、材料の選択から完成品の納品まで、お客様のニーズに正確に対応します。{0}