精密洗浄と表面処理
当社は、高度なプロセス技術に対応した専門的な洗浄および表面処理ソリューションを提供することに特化しています。業界内の戦略的パートナーのリソースを統合することで、当社は協力してお客様に包括的なサービス サポートを提供します。当社のパートナーは半導体分野で 20 年以上の実務経験があり、14nm ノードまでをカバーする技術的専門知識を備えたチームを擁しています。これらは、物理蒸着 (PVD)、化学蒸着 (CVD)、エッチング、イオン注入などのプロセスを含む、8 インチおよび 12 インチのウェーハ ファブに洗浄および表面処理サービスを確実に提供することができます。
サービスブリッジとして機能する当社は、パートナーの成熟した品質管理システムと即応性の高いサービス能力を活用して、集積回路および広範な半導体製造の顧客が厳しい品質管理とプロセスの課題に対処できるよう支援し、効率的で安定したサービスサポートを提供します。
精密洗浄の導入事例
精密洗浄後のサンプル検査では、表面の粒子レベルと金属イオン残留レベルが現在の 28nm プロセスの要件を満たしている必要があります。
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前に -
後
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前に -
後
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前に -
後
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前に -
後
精密洗浄および再生プロセス
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受入検査
受入検査
外観、仕様、傷などを確認してください。
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マスキング
マスキング
非処理領域を腐食から保護します。-
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ケミカルストリッピング
ケミカルストリッピング
古い塗膜を正確に除去します。
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すすぎ・つけ置き
すすぎ・つけ置き
純水で化学残留物を除去します。
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マスキング
マスキング
エリアをサンドブラストから保護します。
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サンドブラスト
サンドブラスト
目標の粗さを達成するためにパラメータを調整します。
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サイジングと検査
サイジングと検査
仕様を満たすように寸法を測定して修正します。
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溶射
溶射
アークまたはプラズマで耐摩耗性コーティングを塗布します。{0}
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高圧洗浄-
高圧洗浄-
表面の大きな粒子を除去します。
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超音波洗浄
超音波洗浄
精密洗浄を行って微粒子を除去します。
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クリーンルーム乾燥
クリーンルーム乾燥
クラス 100 クリーンルーム オーブンでコンポーネントを完全に乾燥させます。
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最終検査
最終検査
コンプライアンスを確保するために包括的なチェックを実施します。
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包装
包装
お客様の要件に応じてコンポーネントを真空パックします。
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出荷監査
出荷監査
数量と梱包の完全性を確認します。
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最終納品
最終納品
レポートを作成して配信します。
サービス能力
► 5000m2(55000 平方フィート) のきれいな作業場エリア。
► 月間5,000個以上の処理能力。
► 365 日継続的かつ効率的なサービス。
► 異なる製品、異なるプロセス。
►以下の技術を含む 8 つの主要な加工ライン:
- 化学洗浄・剥離、物理剥離
- ARC{0}} スプレー、プラズマ スプレー、コーティング、テクスチャリング、真空洗浄と梱包、オーバーホールなど
技術力
► プロセス: 14nmアドバンスプロセス
► サービス範囲：4インチ、6インチ、12インチの半導体部品
► サービスプロセス: PVD/CVD/エッチング/インプラント/リソ
► 厳格な品質管理: 高水準の精密洗浄技術-