セラミック窓

高温や腐食に強く、高度なプロセスに適しています。

窓製品は、優れた耐摩耗性、高硬度、長寿命、優れた耐食性と断熱性を備えています。これらはエレクトロニクス産業、特に高温で腐食性の特殊なガス処理チャンバーで広く使用されており、装置のメンテナンスサイクルが大幅に向上します。-

組成: アルミナ、ジルコニア、複合材料、コーティング材料
仕様：8インチ、12インチ
アプリケーション: 半導体およびエレクトロニクス
オーダーメイド処理：図面やサンプルをもとにカスタマイズやリバースエンジニアリングが可能です。

お問い合わせを送る

製品説明

セラミックウィンドウは、プロセスチャンバー蓋、エッチングチャンバー保護カバー、真空チャンバーシーリング蓋とも呼ばれ、チャンバー専用のカバーです。これらは、高周波およびマイクロ波エネルギーをプラズマエッチングチャンバーに効率的に供給し、エッチングプロセスのスムーズな開始を保証します。さらに、優れた耐食性を備え、プラズマエッチングの過酷な環境においても、チャンバー内の精密コンポーネントやプロセスを外部干渉から保護します。材料の選択と設計は、材料の物理的特性と化学的安定性を考慮して、さまざまな用途シナリオの厳しい要件を満たすように調整されています。チャンバー本体にしっかりとフィットする構造設計に努め、漏れの危険を引き起こす可能性のある隙間を防ぎ、チャンバーの内部および外部環境の独立性と安定性を確保します。
オプションのコーティング:Y₂O₃、YAG、YAM、YF₃、YOF

特徴

耐摩耗性-
耐熱性-
耐腐食性-

優れた断熱性
絶縁
環境保護

技術支援

お客様のご要望に基づいたカスタマイズ製品。
顧客と協力して製品設計を改善し、パフォーマンスを向上させ、コストを削減します。
製品アプリケーションの追跡およびフォローアップサービス。-

セラミックの専門知識

Tessvida はトータルキットソリューション (TKS) のスペシャリストであり、半導体とエレクトロニクス、医療機器、FPD/LED、機械、石油化学、自動車と輸送、エネルギーと電力、食品と農業などの主要産業にサービスを提供しています。成熟したサプライチェーンと高度なプロセス（静水圧プレス、ゲルキャスティング、乾式プレス）により、当社は材料の準備、成形、焼結から精密機械加工、後処理に至るまでのエンドツーエンドの機能を提供しています。--

高純度セラミックスに関する深い専門知識と強力なリソース統合に裏打ちされた当社の柔軟なカスタムサービスは、材料の選択から完成品の納品まで、お客様のニーズに正確に対応します。{0}