高性能コーティング ソリューション
高度なプロセス キット向けのフルスペクトルの洗浄と表面処理を専門としています。{0}
当社は 5 つの差別化されたコーティング技術ソリューションを提供しています-プラズマ溶射、アーク溶射、陽極酸化、電気メッキ、静電溶射-これは、さまざまな基材(金属/非金属)や用途シナリオ(耐食性、耐摩耗性、高温耐性、機能保護)の特定の要件を満たすようにカスタマイズできます。-高温-耐摩耗性-コーティングから耐食性-装飾仕上げまで、また精密部品の機能変更から量産サポートまで、当社はお客様にカスタマイズされた費用対効果の高い技術ソリューションと導入サービスを提供しています。-

陽極酸化処理
金属表面に保護酸化膜を形成します。

プラズマ溶射
高温で溶けた材料で表面をコーティングします。-

アーク溶射
電気アーク熱を利用して金属コーティングを施します。

電気めっき
電流を介して金属層を堆積します。

静電噴霧
静電気吸引力を利用してコーティングを施します。
材料
酸化イットリア (Y2O3)
フッ素酸化イットリウム (YOF)
PTFE/PFA
テフロン
アークスプレー
コーティングの分類
●PTFEコーティング
● シリコン-ベース
●酸化イットリウム
●酸化アルミニウム
●フッ化イットリウム
●アルミ溶射
●銅溶射
●鉄クロム溶射

事例
上部/上部チャンバー、チャンバーライナー
ライナードア、エンドエフェクター、インシュレーター
GDP、ウィンドウ、プレート、電極
カソードスリーブ、シールド、シャッターなど















