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プラチナターゲット

高純度、高密度、均一な成膜-により、半導体や医療機器向けに安定性と耐高温性を備えた薄膜堆積ソリューションを提供します。-

プラチナ スパッタリング ターゲットは、高純度のプラチナから真空溶解、熱間静水圧プレス (HIP)、精密鍛造、機械加工によって製造された貴金属スパッタリング ターゲットです。{0}主に物理蒸着 (PVD) マグネトロン スパッタリング プロセスで使用されます。この製品は、高純度、高密度、均一な微細構造、優れた寸法精度を特徴としており、耐食性、耐高温性、安定性の高いプラチナ膜の形成を可能にします。{3}半導体、オプトエレクトロニクス、新エネルギー技術、センサー、医療機器などに幅広く応用されています。
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製品説明

製品説明

 

このシリーズのプラチナ ターゲットは、超高純度のプラチナ原料から製造されており、円形、長方形、不規則なサイズ、カスタム サイズなどをご用意しています。{0}{1}この製品は直流(DC)スパッタリングに適しており、主流のマグネトロンスパッタリング装置と互換性があり、優れた膜均一性と安定した密着性を実現し、高度な製造における膜純度や信頼性に対する厳しい要件を満たします。

 

 

特徴

  • 高純度の従来グレード、超高純度仕様も利用可能-
  • 厳密な寸法公差管理による高い表面仕上げ
  • 接着されたバックプレーンコンポーネントが利用可能です
  • さまざまな標準マグネトロンスパッタリングチャンバーと互換性があります
  • 高密度、均一な組織構造、スパッタリング欠陥および粒子状物質の低減
  • 優れた化学的安定性を示し、酸化や腐食に対して高い耐性を示します。
  • DCスパッタリングは安定した性能と均一な成膜を実現

 

応用

 

  • 半導体集積回路の電極、バリア層、配線フィルム
  • 光電子デバイス、光反射膜、フィルターコーティング
  • 新エネルギー: プラチナ-ベースの触媒層を備えた燃料電池、太陽電池
  • 自動車用センサー、排ガス処理触媒装置
  • 医療用埋め込み型デバイス、生体適合性および耐腐食性フィルム-
  • -ハイエンドの実験室研究、精密機器用コーティング

 

 

カスタマイズされたサービス

 

特注寸法、厚さ、純度、技術仕様などにつきましては、お気軽にお問い合わせください。当社は、お客様のスパッタリング装置、コーティング要件、寸法仕様に基づいてカスタマイズされた材料ソリューションを提供できます。

 

 

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