製品説明
このシリーズのルテニウム ターゲットは高純度のルテニウム原料から製造されており、アーク溶解および結晶粒微細化プロセスを通じて高密度で均一な微細構造を実現しています。{0}この製品は、平面ターゲットや回転ターゲットなどのさまざまな構成で利用でき、インジウム-結合/弾性体-結合バックプレート サービスをサポートしているため、DC スパッタリング アプリケーションに適しています。
特徴
- 高純度の従来グレード。超高純度仕様も用意されています。-
- 硬度が高く、耐摩耗性、耐酸化性、耐食性に優れています。
- 融点が非常に高く、高温安定性に優れています。-
- この膜は均一な堆積と高密度を示すため、高度な半導体製造プロセスに適しています。
仕様と型式
特注寸法、厚さ、純度、技術仕様などにつきましては、お気軽にお問い合わせください。当社は、お客様のスパッタリング装置、コーティング要件、寸法仕様に基づいてカスタマイズされた材料ソリューションを提供できます。
| 分類次元 | 製品タイプ | コア機能 |
| 純度グレード | さまざまな純度グレード | -半導体、ディスプレイ、メモリ デバイスの汎用用途。 |
| 製品形式 | 円形平面ルテニウムターゲット | 標準仕様で、ほとんどのスパッタリング装置に対応します。 |
| 長方形/ブロック{0}}形状のルテニウム ターゲット | 大面積のコーティング用途に適しています。- | |
| 回転ルテニウムターゲット | 大面積、高効率の成膜に適しています。- |
応用
- 半導体: DRAM/MIM キャパシタ電極、相互接続拡散バリア層。
- 高度なストレージ: 磁気ストレージ、位相変化メモリ、抵抗メモリ。{0}
- 集積回路: 銅相互接続シード層、バリア層、およびロジック デバイス。
- ディスプレイ デバイス: フラット パネル ディスプレイ、OLED 薄膜電極-。
- オプトエレクトロニクスと太陽光発電: 光学コーティング、太陽電池の機能層。
- 精密エレクトロニクス: 耐摩耗性電気接点、-厚膜抵抗器、センサー。-
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