主要製品s

セラミックチャンバーとドーム

セラミック窓

セラミックフォーカスリング

セラミックスピンドライヤーチャック

セラミックリニアガイドレール

セラミックハンドリングアーム

セラミックノズルの特注加工

セラミックエアベアリングステージ

特徴

当社は、純度 99%、99.5%、99.7%、99.9% の高純度製品を製造しています。{0}これらの高純度アルミナ材料は、優れた機械的強度と耐食性を示し、大規模製品の製造に適しています。-また、耐プラズマ性にも優れているため、半導体CVD装置やエッチング装置の部品としても使用できます。

耐熱性-
耐摩耗性-
耐腐食性-

高い絶縁耐力
電気絶縁体
耐プラズマ性

アルミナの性質

マテリアルマトリックス			アルミナ
プロパティ	アイテム	ユニット	TSV-AZ025A	TSV-A950A	TSV-A990A	TSV-A995A	TSV-A997A	TSV-A997B	TSV-A999A
物理的性質	コンテンツ	%	-	95.0%	99.0%	99.5%	99.7%	99.7%	99.9%
	色		乳白色	白	白	乳白色	乳白色	乳白色	白
	密度	グラム/センチメートル³	4.4	3.7	3.8	3.9	3.92	3.94	3.95
機械的動作	ビッカース硬さ	GPa	15	13.7	15.2	16.0	17.2	17.2	17.5
	曲げ強度	メガパスカル	650	350	310	360	380	380	400
	圧縮強度	メガパスカル	-	-	2160	2350	2380	2400	2560
	ヤング率	GPa	320	320	360	370	380	380	380
	ポアソン比	/	0.25	0.23	0.23	0.23	0.23	0.23	0.23
	破壊靱性	MPa.m^1/2	5	3-4	3-4	4	4.8	5	5.4
熱特性	熱膨張係数	10^-6/ 程度	9	7.2	7.2	7.2	7.2	7.2	7.2
	熱伝導率	W/(m.K)	19	24	29	32	32	32	34
	比熱容量	J/(g.K)	-	0.78	0.79	0.78	0.79	0.79	0.78
	最高動作温度	程度	1600	1500	1600	1600	1600	1600	1600
電気的特性	絶縁耐力	kv/mm	-	15	15	15	15	15	15
	誘電率(1MHz)	-	-	9.4	9.9	9.9	9.9	9.9	9.9
	誘電損失(1MHz)	(X10^-4)	-	4	2	1	1	1	1
	体積抵抗率 20度	Ω.cm	>10¹²	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴
	体積抵抗率 300度	Ω.cm	-	10¹⁰	10¹⁰	10¹³	10¹³	10¹³	10¹³

※記載の物性値は試験サンプルから得られた平均的な結果であり、保証するものではありません。これらの値は特定の製造バッチによって異なる場合があることに注意してください。

さまざまな産業におけるアルミナの応用

半導体装置部品:チャンバー部品、絶縁フランジ、エッチング装置部品、ウェハチャックなどのコンポーネントは、その高純度、耐食性、電気絶縁特性を活かして、半導体製造プロセスの安定性と信頼性を確保します。
集積回路:基板やパッケージ材料として使用されるアルミナの優れた絶縁性と熱伝導性により、集積回路の性能と放熱効率が向上します。
粉砕機のコンポーネント:分級機、エアジェットミル、ビーズミルなどの装置の内部ライニングと粉砕メディアは、高い硬度と耐摩耗性の恩恵を受け、粉砕効率を効果的に向上させ、装置の寿命を延ばします。
一般産業用部品：レーザー加工機のノズル、シャフト、ベアリングなどの部品は、優れた耐摩耗性、耐熱性、機械的強度を備え、さまざまな運用要求に応えるように設計されています。
耐摩耗性コンポーネント:-伸線機用のガイドローラー、ワイヤーチャネル、レールなどの部品は、長期間の摩擦に対して良好な寸法精度と表面品質を維持し、メンテナンスと交換のコストを削減します。
高精度の工具-:治具と組立治具は、精密加工と組立に高精度と安定性を提供し、製品の品質と生産効率を保証します。
電気絶縁部品:絶縁体、ガスケット、ブッシュは、その優れた電気絶縁性を利用して、漏電やショートなどのトラブルを防止し、電気機器の安全な動作を確保します。
医療分野:アルミナは薬物担体や歯科修復材として使用されており、生体適合性と化学的安定性に優れ、人体に悪影響を及ぼしません。
エンジンコンポーネント:自動車エンジンの燃焼室コンポーネントなどの部品は、低い熱伝導率と高い熱膨張係数を特徴としており、高温下でも優れた性能を保証します。
自動車部品:アルミナはスパークプラグ絶縁体とブレーキパッドの製造に使用され、これらの部品の性能と寿命を向上させます。